大家好,欢迎收听我们的科技播客。今天,我们要聊的是三星电子的一项重大技术进展。据首尔经济日报报道,三星计划在2024年第四季度至2025年第一季度期间,安装其首台高数值孔径(High-NA)极紫外光刻设备。这台设备将主要用于研发目的,帮助三星开发其下一代的逻辑和DRAM工艺技术。
三星的这台ASML Twinscan EXE:5000 High-NA光刻系统,预计将在2025年年中投入运营。这意味着,虽然三星的High-NA EUV工具比英特尔晚一年投入使用,但它仍将领先于其竞争对手台积电和SK海力士。
此外,三星还计划围绕High-NA EUV技术建立一个强大的生态系统。除了购买High-NA EUV光刻设备外,三星还与日本的Lasertec合作,开发专门用于High-NA光罩的检测设备。据DigiTimes报道,三星已经购买了Lasertec的High-NA EUV光罩检测工具Actis A300。
三星还与JSR和东京电子合作,为2027年的商业实施做准备。同时,三星与Synopsys合作,从传统的电路设计转向光罩上的曲线路径设计,这将提高印在晶圆上的电路精度,对进一步细化工艺技术至关重要。
总之,三星的这一系列举措显示了其在半导体制造技术领域的雄心壮志。我们将继续关注这一领域的最新动态,感谢您的收听。
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