1、提出了一种基于MEMS固定梁的微波功率检测芯片，以提高性能和准确性。2、通过考虑梁的变形，利用挠曲方程建立了负载模型。3、与集总参数模型和关键力学模型相比，该模型分别提高了91.56%和43.67%的准确性。